「半導体メトロロジーのためのウルトラワイドフィールドイメージングミューラーマトリックス分光エリプソメトリー」というタイトルの新しい技術論文がサムスンの研究者によって発行されました。
抽象的な
「半導体メトロロジー用の超幅のフィールドイメージングミューラーマトリックス分光式エリプソメトリー（IMMSE）システムを提案します。IMMSEシステムは、20 mm×20 mmの視野（FOV）で大規模なエリア測定を実現します。 FOV内では、この多数のMMスペクトルと機械学習をレバレッジするユニークな信号補正アルゴリズムが保証されます。個々のチップ内の動的ランダムアクセスメモリ（DRAM）構造の空間バリエーションを識別し、ウェーハ全体で半導体製造します。」
を見つけます ここの技術論文。
Oh、J.、Son、J.、Yoon、C。etal。半導体メトロロジーのための超幅のフィールドイメージングミューラーマトリックス分光エリプソメトリー。 Nat Commun 16、8512（2025）。
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